Podrobný popis:
- předmětem veřejné zakázky je dodání samostatně stojícího HMDS systému

- Jedná se o zařízení obsahující topnou desku

- Díky tomu je za zvýšené teploty nadeponována tenká vrstva hexamethyldisilazanu, jakožto adhezního promotoru, pro následné zvýšení adheze spincoatovaných polymerních rezistů ke křemíkovým a skleněným substrátům

- S využitím tohoto procesu je tedy eliminována chybovost výroby veškerých následných litografických procesů způsobená delaminací rezistu

- Navíc díky systému s deskou vhodnou pro 8” podložní substráty, které jsou v dnešní době běžně průmyslovým standardem, je možné vyrábět větší množství čipů najednou, což snižuje časovou náročnost i finanční náklady na ostatní procesy

Lokalita:
- Jihomoravský kraj

Termín pro podání nabídek:
- 02. 12. 2024 v 10:00 hodin