Popis:
- dodávka nového Systému pro magnetronové naprašování
Lokalita:
- okres Brno-město
Termín:
- do 6 měsíců
Kritéria:
- nabídková cena (94 %)
- Load-lock je čerpaný turbomolekulární a suchou vývěvou (2 %)
- možnost in-situ polohovat jednotlivé magnetronové hlavy bez narušení vakua v depoziční komoře (1 %)
- součástí technické dokumentace dodané společně se zařízením jsou i technické výkresy a schémata elektrického zapojení (2 %)
- vzdálenost držáku substrátu a magnetronových hlav je řízena počítačem (1 %)